1代是結構型傳感器,它利用結構參量變化來感受和轉化信號。例如:電阻應變式傳感器,它是利用金屬材料發(fā)生彈性形變時電阻的變化來轉化電信號的。 2代傳感器是70 年代開始發(fā)展起來的固體傳感器,這種傳感器由半導體、電介質、磁性材料等固體元件構成,是利用材料某些特性制成的。如:利用熱電效應、霍爾效應、光敏效應,分別制成熱電偶傳感器、霍爾傳感器、光敏傳感器等。 3代傳感器是80年代剛剛發(fā)展起來的智能傳感器。所謂智能傳感器是指其對外界信息具有一定檢測、自診斷、數(shù)據(jù)處理以及自適應能力，是微型計算機技術與檢測技術相結合的產(chǎn)物。